Фізико-хімічні основи напівпровідникового матеріалознавства
Date
2020Author
Майструк, Едуард Васильович
Козярський, Іван Петрович
Козярський, Дмитро Петрович
Мар'янчук, Павло Дмитрович
Metadata
Show full item recordAbstract
Навчальний посібник містить основи знань про фізико-хімічні проблеми, які виникають при одержанні напівпровідникових матеріалів, на простих прикладах пояснюються загальні закономірності, характерні для методів очищення матеріалів та отримання напівпровідникових кристалів та плівок.
Для студентів спеціальностей «Електроніка» і «Мікро- та наносистемна техніка», а також для студентів інших спеціальностей фізико-технічного профілю вищих навчальних закладів.